Описание
Дисилицид титана TiSi2 — тугоплавкое соединение титана с кремнием, серый порошок. Относится к силицидам тугоплавких металлов: сочетает металлический тип проводимости с высокой термической стойкостью и совместимостью с кремнием. Ключевой параметр для электроники — низкое удельное сопротивление порядка 16 мкОм·см против примерно 300 мкОм·см у легированного поликристаллического кремния.
Основные атрибуты
- CAS №: 12039-83-7
- Химическая формула: Si2Ti
- Молекулярный вес: 104,04
- Точная масса: 103,90200
- Номер ЕС: 234-904-3
- Характеристики PSA: 0
- XLogP3: −0,76160
Физико-химические характеристики
- Внешний вид: серый порошок
- Плотность: 4,0 г/см3
- Температура плавления: 1540 °C
- Температура кипения: 1540 °C
- Растворимость: растворим в плавиковой кислоте; в воде нерастворим
Область применения
- микроэлектроника: первый уровень металлизации и межсоединений затворных структур и активных областей в субмикронных интегральных схемах
- salicide-процесс (самосовмещённое силицидирование): снижение поверхностного сопротивления поликремниевых затворов и областей истока-стока
- контактная и барьерная металлизация в технологии КМОП
- жаростойкие материалы и покрытия в авиационной технике
- мишени для напыления и материал для нанесения тонких плёнок
Почему применяется в производстве микросхем
Силициды тугоплавких металлов вошли в технологию КМОП по совокупности свойств: низкое удельное сопротивление, стабильность при высоких температурах последующих технологических операций, устойчивость к электромиграции и химическая совместимость с кремнием. Дисилицид титана даёт наименьшее сопротивление в этом ряду, поэтому его применяют для снижения сопротивления затворов и активных областей. В самосовмещённом процессе плёнку титана наносят на всю пластину и отжигают: силицид образуется только там, где металл контактировал с кремнием, а с диэлектрика непрореагировавший титан удаляется селективным травлением.
Информация по технике безопасности
- Уровень упаковки: III
- Категория опасности: 4.1
- Транспортные коды: ООН 3178
- Номер RTECS: XR2420000
- Указания по опасности: H228 — легковоспламеняющееся твёрдое вещество
- Классификация СГС: H228 (100 %), сигнальное слово «Предупреждение»; агрегированная информация СГС предоставлена 6 компаниями по 2 уведомлениям в реестр C и L ECHA
- Меры предосторожности: P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P403 + P233, P405, P501
Хранение и обращение
Тонкодисперсный порошок горюч (категория 4.1, ООН 3178), поэтому хранение ведут вдали от источников зажигания, искр, нагретых поверхностей и открытого пламени; заземление оборудования при пересыпке обязательно для исключения разряда статического электричества. Тара плотно закрыта, помещение сухое. Работы с порошком — в перчатках, защитных очках, под вытяжкой; при пылении применяют противоаэрозольный респиратор. Растворимость в плавиковой кислоте учитывается при выборе методики анализа: работа с HF требует отдельного комплекса мер защиты.
Basic Attributes
104.04
103.90200
234-904-3
Characteristics
0
-0.76160
Gray Powder
4.0 g/cm3
1540°C
1540°C
soluble in hydrofluoric acid. Insoluble in water.
Safety Information
III
4.1
UN3178
XR2420000
P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302+P352, P304+P340, P305+P351+P338, P312, P321, P332+P313, P337+P313, P362, P370+P378, P403+P233, P405, P501
H228
|Warning|H228 (100%): Flammable solid [Danger Flammable solids]|P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302+P352, P304+P340, P305+P351+P338, P312, P321, P332+P313, P337+P313, P362, P370+P378, P403+P233, P405, and P501|Aggregated GHS information provided by 6 companies from 2 notifications to the ECHA C&L Inventory. Each notification may be associated with multiple companies.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. Силицид титана (TiSi2) от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
