Описание
Дисилицид титана TiSi2 — тугоплавкое соединение титана с кремнием, серый порошок. Относится к силицидам тугоплавких металлов: сочетает металлический тип проводимости с высокой термической стойкостью и совместимостью с кремнием. Ключевой параметр для электроники — низкое удельное сопротивление порядка 16 мкОм·см против примерно 300 мкОм·см у легированного поликристаллического кремния.
Основные атрибуты
- CAS №: 12039-83-7
- Химическая формула: Si2Ti
- Молекулярный вес: 104,04
- Точная масса: 103,90200
- Номер ЕС: 234-904-3
- Характеристики PSA: 0
- XLogP3: −0,76160
Физико-химические характеристики
- Внешний вид: серый порошок
- Плотность: 4,0 г/см3
- Температура плавления: 1540 °C
- Температура кипения: 1540 °C
- Растворимость: растворим в плавиковой кислоте; в воде нерастворим
Область применения
- микроэлектроника: первый уровень металлизации и межсоединений затворных структур и активных областей в субмикронных интегральных схемах
- salicide-процесс (самосовмещённое силицидирование): снижение поверхностного сопротивления поликремниевых затворов и областей истока-стока
- контактная и барьерная металлизация в технологии КМОП
- жаростойкие материалы и покрытия в авиационной технике
- мишени для напыления и материал для нанесения тонких плёнок
Почему применяется в производстве микросхем
Силициды тугоплавких металлов вошли в технологию КМОП по совокупности свойств: низкое удельное сопротивление, стабильность при высоких температурах последующих технологических операций, устойчивость к электромиграции и химическая совместимость с кремнием. Дисилицид титана даёт наименьшее сопротивление в этом ряду, поэтому его применяют для снижения сопротивления затворов и активных областей. В самосовмещённом процессе плёнку титана наносят на всю пластину и отжигают: силицид образуется только там, где металл контактировал с кремнием, а с диэлектрика непрореагировавший титан удаляется селективным травлением.
Информация по технике безопасности
- Уровень упаковки: III
- Категория опасности: 4.1
- Транспортные коды: ООН 3178
- Номер RTECS: XR2420000
- Указания по опасности: H228 — легковоспламеняющееся твёрдое вещество
- Классификация СГС: H228 (100 %), сигнальное слово «Предупреждение»; агрегированная информация СГС предоставлена 6 компаниями по 2 уведомлениям в реестр C и L ECHA
- Меры предосторожности: P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P403 + P233, P405, P501
Хранение и обращение
Тонкодисперсный порошок горюч (категория 4.1, ООН 3178), поэтому хранение ведут вдали от источников зажигания, искр, нагретых поверхностей и открытого пламени; заземление оборудования при пересыпке обязательно для исключения разряда статического электричества. Тара плотно закрыта, помещение сухое. Работы с порошком — в перчатках, защитных очках, под вытяжкой; при пылении применяют противоаэрозольный респиратор. Растворимость в плавиковой кислоте учитывается при выборе методики анализа: работа с HF требует отдельного комплекса мер защиты.
Description
Titanium disilicide TiSi2 is a refractory compound of titanium with silicon, gray powder. Refers to silicides of refractory metals: it combines the metallic type of conductivity with high thermal stability and compatibility with silicon. A key parameter for electronics is the low resistivity of about 16 μΩ cm versus about 300 μΩ cm for doped polycrystalline silicon.
Basic Attributes
- CAS No.: 12039-83-7
- Chemical formula: Si2Ti
- Molecular weight: 104.04
- Accurate weight: 103.90200
- EU number: 234-904-3
- PSA Features: 0
- XLogP3: −0.76160
Physico-chemical characteristics
- Appearance: Gray powder
- Density: 4.0 g/cm3
- Melting point: 1540 °C
- Boiling point: 1540 °C
- Solubility: soluble in hydrofluoric acid; insoluble in water
Scope of application
- microelectronics: the first level of metallization and interconnection of gate structures and active regions in submicron integrated circuits
- salicide process (self-combined silicidation): reducing the surface resistance of polysilicon gates and source-drain regions
- contact and barrier metallization in CMOS technology
- heat-resistant materials and coatings in aviation technology
- targets for sputtering and material for deposition of thin films
Why is it used in microchip production?
Silicides of refractory metals have been included in CMOS technology due to a combination of properties: low resistivity, stability at high temperatures of subsequent technological operations, resistance to electromigration and chemical compatibility with silicon. Titanium disilicide gives the lowest resistance in this series, so it is used to reduce the resistance of gates and active areas. In the self-combined process, a titanium film is applied to the entire wafer and annealed: silicide is formed only where the metal is in contact with silicon, and unreacted titanium is removed from the dielectric by selective etching.
Safety Information
- Packing level: III
- Hazard category: 4.1
- Transport codes: UN 3178
- RTECS number: XR2420000
- Hazard Statements: H228 - Flammable solid
- GHS classification: H228 (100%), signal word "Warning"; aggregated GHS information provided by 6 companies for 2 notifications to the ECHA C and L register
- Precautions: P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P403 + P233, P405, P501
Storage and handling
Fine powder is flammable (category 4.1, UN 3178), so storage is carried out away from ignition sources, sparks, heated surfaces and open flames; Grounding of equipment during transfer is mandatory to prevent the discharge of static electricity. The container is tightly closed, the room is dry. Working with powder - wear gloves, safety glasses, under a hood; When dusting occurs, use an anti-aerosol respirator. Solubility in hydrofluoric acid is taken into account when choosing an analysis technique: working with HF requires a separate set of protective measures.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. Силицид титана (TiSi2) от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
