Описание
Тетракис(диэтиламино)цирконий, Zr[N(C₂H₅)₂]₄, отраслевое сокращение TDEAZ, — амид циркония(IV) с четырьмя диэтиламидными лигандами. Жёлтая жидкость, застывающая ниже −20 °C, горючая и реагирующая с водой. Прекурсор атомно-слоевого и химического осаждения циркониевых плёнок; электронный класс чистоты 99,99+ %.
Основные атрибуты
- CAS №: 13801-49-5
- Химическая формула: C16H40N4Zr
- Молекулярный вес: 379,74
- Точная масса: 378,23000
- Идентификатор DSSTox: DTXSID40160455
- Код ТН ВЭД (HS): 2924199090
- PSA: 4
- XLogP3: 3,17000
- Внешний вид: жёлтая жидкость
- Плотность: 1,026 г/см³
- Температура плавления: ниже −20 °C
- Температура кипения: 128 °C при 0,05 мм рт. ст.
- Температура вспышки: 54 °F (12,2 °C)
- Показатель преломления: 1,51
- Давление пара: 218 мм рт. ст. при 25 °C (значение карточки поставщика)
- Условия хранения: зона, свободная от воды
Место в ряду циркониевых амидов
Диэтиламидные лиганды крупнее диметиламидных и этилметиламидных, поэтому TDEAZ жидок в широком диапазоне температур: плавление ниже −20 °C, перегонка при 128 °C и 0,05 мм рт. ст. Практическая разница с аналогами — в летучести и в термостабильности при подаче: более объёмные лиганды дают меньшее давление паров при равной температуре, но и более высокую устойчивость молекулы. Химия осаждения та же: связи Zr–N разрываются водой, озоном или кислородной плазмой, лиганды уходят с газовым потоком, на подложке формируется оксид циркония.
Область применения
- Прекурсор ALD и CVD диоксида циркония ZrO₂ — high-k диэлектрика для конденсаторов DRAM и подзатворных структур логических микросхем
- Осаждение нитрида циркония при использовании азотсодержащего реагента
- Барьерные, износостойкие и оптические циркониевые покрытия
- Источник циркония в металлоорганическом синтезе
Информация по технике безопасности
- Указания по опасности: H225 — легковоспламеняющаяся жидкость и пар; H261 — при контакте с водой выделяет легковоспламеняющиеся газы; H315 — раздражение кожи; H319 — серьёзное раздражение глаз; H335 — может вызвать раздражение дыхательных путей
- Меры предосторожности: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- Классификация СГС, сигнальное слово «Опасность»: H225 (93,85 %) — легковоспламеняющаяся жидкость
- Полный перечень предписаний по классификации СГС: P210, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301 + P330 + P331, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Основание классификации: агрегированные данные СГС от 65 компаний по 4 уведомлениям в реестр C и L ECHA; одно уведомление может относиться к нескольким компаниям
- Группа упаковки: II
- Категория опасности: 4.3
- Транспортные коды: ООН 3398, класс 4.3, группа упаковки II
- WGK Германия: 3
- Код класса опасности: 11-14-36/37/38
- Инструкции по технике безопасности: 16-26-36
- Метки: F, Xi
Хранение и обращение
Карточка задаёт хранение в зоне, свободной от воды. Класс 4.3 и указание H261 означают выделение горючих газов при контакте с влагой, поэтому предписание P422 требует держать содержимое под инертным газом, а тушение водой исключается. Вспышка при 12,2 °C относит продукт к легковоспламеняющимся жидкостям: склад прохладный, вентилируемый, без источников зажигания, оборудование заземлено. Перелив и подключение к установке — на герметичной осушенной линии либо в перчаточном боксе, в перчатках и защитных очках.
Замечание по данным: приведённое в карточке давление пара 218 мм рт. ст. при 25 °C не согласуется с температурой перегонки 128 °C при 0,05 мм рт. ст. Значение перенесено из исходной карточки поставщика без изменений; при проектировании системы подачи опираться на паспорт партии.
Description
Tetrakis(diethylamino)zirconium, Zr[N(C₂H₅)₂]₄, industry abbreviation TDEAZ, is a zirconium(IV) amide with four diethylamide ligands. A yellow liquid that solidifies below −20 °C, is flammable and reacts with water. Precursor for atomic layer and chemical deposition of zirconium films; electronic purity class 99.99+%.
Basic Attributes
- CAS No.: 13801-49-5
- Chemical formula: C16H40N4Zr
- Molecular weight: 379.74
- Exact weight: 378.23000
- DSSTox ID: DTXSID40160455
- HS code: 2924199090
- PSA: 4
- XLogP3: 3.17000
- Appearance: yellow liquid
- Density: 1.026 g/cm³
- Melting point: below −20 °C
- Boiling point: 128 °C at 0.05 mm Hg. Art.
- Flash point: 54°F (12.2°C)
- Refractive index: 1.51
- Steam pressure: 218 mm Hg. Art. at 25 °C (supplier card value)
- Storage conditions: water-free area
Place in the series of zirconium amides
Diethylamide ligands are larger than dimethylamide and ethylmethylamide ligands, so TDEAZ is liquid over a wide temperature range: melting below −20 °C, distilling at 128 °C and 0.05 mmHg. Art. The practical difference with analogues is in volatility and thermal stability when fed: larger ligands give a lower vapor pressure at the same temperature, but also higher stability of the molecule. The deposition chemistry is the same: Zr–N bonds are broken by water, ozone or oxygen plasma, the ligands leave with the gas flow, and zirconium oxide is formed on the substrate.
Scope of application
- ALD and CVD precursor of zirconia ZrO₂ - high-k dielectric for DRAM capacitors and gate structures of logic chips
- Precipitation of zirconium nitride using a nitrogen-containing reagent
- Barrier, wear-resistant and optical zirconium coatings
- Source of zirconium in organometallic synthesis
Safety Information
- Hazard Statements: H225 - Flammable liquid and vapour; H261 - on contact with water releases flammable gases; H315 - skin irritation; H319 - serious eye irritation; H335 - may cause respiratory irritation
- Precautions: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- GHS classification, signal word "Danger": H225 (93.85%) - flammable liquid
- Full list of prescriptions according to the GHS classification: P210, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301 + P330 + P331, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Basis of classification: aggregated GHS data from 65 companies for 4 notifications to the ECHA C and L register; one notification may apply to several companies
- Packing group: II
- Hazard category: 4.3
- Transport codes: UN 3398, class 4.3, packing group II
- WGK Germany: 3
- Hazard class code: 11-14-36/37/38
- Safety instructions: 16-26-36
- Tags: F, Xi
Storage and handling
The card specifies storage in a water-free zone. Class 4.3 and H261 indicate the release of flammable gases on contact with moisture, so P422 requires keeping the contents under inert gas and extinguishing with water is not possible. A flash at 12.2 °C classifies the product as a flammable liquid: the warehouse is cool, ventilated, without ignition sources, equipment is grounded. Overflow and connection to the installation - on a sealed drained line or in a glove box, wearing gloves and safety glasses.
Note on the data: the vapor pressure given on the card is 218 mmHg. Art. at 25 °C does not agree with the distillation temperature of 128 °C at 0.05 mm Hg. Art. The value has been transferred from the original supplier card without changes; When designing a feeding system, rely on the batch passport.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. ТЕТРАКИС(ДИЭТИЛАМИНО) ЦИРКОНИЙ от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
