Описание
Тетракис(диметиламино)цирконий, Zr[N(CH₃)₂]₄, отраслевое сокращение TDMAZ, — металлоорганический амид циркония(IV) с четырьмя диметиламидными лигандами. Твёрдое вещество, плавящееся при 57–60 °C и легко возгоняющееся в вакууме. Прекурсор для атомно-слоевого и химического осаждения циркониевых плёнок; электронный класс чистоты 99,99+ %.
Основные атрибуты
- CAS №: 19756-04-8
- Химическая формула: C8H24N4Zr
- Молекулярный вес: 267,53
- Точная масса: 266,10500
- Номер ЕС: 243-271-2
- Идентификатор DSSTox: DTXSID90173439
- Код ТН ВЭД (HS): 2921199090
- PSA: 4
- XLogP3: 0,04920
- Внешний вид: твёрдое вещество
- Температура плавления: 57–60 °C (литературные данные)
- Температура кипения: 80 °C при 0,1 мм рт. ст.
- Температура вспышки: выше 65 °C
- Условия хранения: зона, свободная от воды
Отличие от аналогов
Диметиламидные лиганды короче этилметиламидных, поэтому TDMAZ при комнатной температуре твёрдый, тогда как TEMAZ (CAS 175923-04-3) — жидкость. Для газофазных процессов это означает необходимость подогрева источника: рабочая летучесть достигается при 80 °C и остаточном давлении 0,1 мм рт. ст. Взамен продукт менее пожароопасен — вспышка выше 65 °C против 10 °C у этилметиламидного аналога.
Область применения
- Прекурсор ALD и CVD диоксида циркония ZrO₂ — диэлектрика с высокой проницаемостью для конденсаторов DRAM и подзатворных структур
- Осаждение нитрида циркония при работе с азотсодержащим реагентом
- Барьерные и функциональные циркониевые покрытия
- Источник циркония в металлоорганическом синтезе
Информация по технике безопасности
- Указания по опасности: H228 — легковоспламеняющееся твёрдое вещество; H261 — при контакте с водой выделяет легковоспламеняющиеся газы; H315 — раздражение кожи; H319 — серьёзное раздражение глаз; H335 — может вызвать раздражение дыхательных путей
- Меры предосторожности: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- Классификация СГС, сигнальное слово «Предупреждение»: H228 (100 %) — легковоспламеняющееся твёрдое вещество
- Перечень предписаний по классификации СГС: P210, P231 + P232, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P402 + P404, P403 и далее по карточке
- Транспортные коды: ООН 3396, класс 4.3, группа упаковки II
- WGK Германия: 3
- Код класса опасности: 11-14/15-36/37/38
- Инструкции по технике безопасности: 16-26-36-43
- Метки: F, Xi
Хранение и обращение
Карточка задаёт прямое требование: зона, свободная от воды. Код 14/15 означает бурную реакцию с водой и выделение легковоспламеняющихся газов, поэтому предписание P422 обязывает держать содержимое под инертным газом, а инструкция 43 — заранее определить средства тушения (вода исключена). Склад прохладный и сухой, без источников зажигания. Развеска и загрузка испарителя — в перчаточном боксе. Средства защиты: перчатки, защитные очки, исключение пыления.
Description
Tetrakis(dimethylamino)zirconium, Zr[N(CH₃)₂]₄, industry abbreviation TDMAZ, is an organometallic zirconium(IV) amide with four dimethylamide ligands. A solid that melts at 57–60 °C and easily sublimes in a vacuum. Precursor for atomic layer and chemical deposition of zirconium films; electronic purity class 99.99+%.
Basic Attributes
- CAS No.: 19756-04-8
- Chemical formula: C8H24N4Zr
- Molecular Weight: 267.53
- Exact weight: 266.10500
- EU number: 243-271-2
- DSSTox ID: DTXSID90173439
- HS code: 2921199090
- PSA: 4
- XLogP3: 0.04920
- Appearance: solid
- Melting point: 57–60 °C (literature data)
- Boiling point: 80 °C at 0.1 mm Hg. Art.
- Flash point: above 65°C
- Storage conditions: water-free area
Difference from analogues
Dimethylamide ligands are shorter than ethylmethylamide ligands, so TDMAZ is a solid at room temperature, while TEMAZ (CAS 175923-04-3) is a liquid. For gas-phase processes, this means the need to heat the source: operating volatility is achieved at 80 °C and a residual pressure of 0.1 mmHg. Art. In return, the product is less flammable - flash above 65 °C versus 10 °C for the ethylmethylamide analogue.
Scope of application
- ALD and CVD precursor of zirconia ZrO₂, a high permeability dielectric for DRAM capacitors and gate structures
- Precipitation of zirconium nitride when working with a nitrogen-containing reagent
- Barrier and functional zirconium coatings
- Source of zirconium in organometallic synthesis
Safety Information
- Hazard Statements: H228 - Highly flammable solid; H261 - on contact with water releases flammable gases; H315 - skin irritation; H319 - serious eye irritation; H335 - may cause respiratory irritation
- Precautions: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- GHS classification, signal word "Warning": H228 (100%) - flammable solid
- List of prescriptions according to the GHS classification: P210, P231 + P232, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P402 + P404, P403 and further on the card
- Transport codes: UN 3396, class 4.3, packing group II
- WGK Germany: 3
- Hazard class code: 11-14/15-36/37/38
- Safety instructions: 16-26-36-43
- Tags: F, Xi
Storage and handling
The card sets a direct requirement: a water-free zone. Code 14/15 means a violent reaction with water and the release of flammable gases, therefore instruction P422 requires keeping the contents under an inert gas, and instruction 43 requires pre-determining extinguishing agents (water excluded). The warehouse is cool and dry, without ignition sources. Hanging and loading the evaporator is in the glove box. Protective equipment: gloves, safety glasses, avoid dust.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. ТЕТРАКИС(ДИМЕТИЛАМИНО) ЦИРКОНИЙ от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
