Описание
Тетракис(этилметиламино)цирконий, Zr[N(CH₃)(C₂H₅)]₄, в отраслевом обиходе TEMAZ, — металлоорганический амид циркония(IV). Светло-жёлтая жидкость, летучая при пониженном давлении, крайне чувствительная к влаге. Основной прекурсор для атомно-слоевого и химического осаждения из газовой фазы плёнок оксида и нитрида циркония. Поставляется в том числе в 50-мл баллонах Swagelok для установок CVD/ALD.
Основные атрибуты
- CAS №: 175923-04-3
- Химическая формула: C12H32N4Zr
- Молекулярный вес: 323,63
- Точная масса: 322,16700
- PSA: 12,96000
- XLogP3: 1,60960
- Внешний вид: светло-жёлтая жидкость
- Плотность: 1,049 г/мл при 25 °C (литературные данные)
- Температура кипения: 81 °C при 0,1 мм рт. ст.
- Температура вспышки: 50 °F (10 °C)
- Товарные квалификации: 99 %, 99,999 %; фасовка в 50-мл баллонах Swagelok для CVD/ALD
Механизм работы в процессе осаждения
Связи Zr–N в амидных прекурсорах реакционноспособны и легко разрываются водой, озоном или кислородной плазмой. В цикле атомно-слоевого осаждения молекула сначала хемосорбируется на поверхности подложки, отдавая часть лигандов, затем окислитель убирает остаток органики и достраивает кислородную решётку. Один цикл даёт долю монослоя, толщина плёнки задаётся числом циклов. Тот же прекурсор с азотсодержащим реагентом даёт нитрид циркония.
Область применения
- Прекурсор ALD и CVD плёнок диоксида циркония ZrO₂ — материала с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k)
- Формирование конденсаторных диэлектриков в DRAM и подзатворных диэлектриков в логических микросхемах
- Осаждение нитрида циркония
- Барьерные, износостойкие и оптические покрытия на основе циркониевых слоёв
- Источник циркония в металлоорганическом синтезе
Информация по технике безопасности
- Указания по опасности: H225 — легковоспламеняющаяся жидкость и пар; H261 — при контакте с водой выделяет легковоспламеняющиеся газы; H315 — раздражение кожи; H319 — серьёзное раздражение глаз; H335 — может вызвать раздражение дыхательных путей
- Меры предосторожности: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- Классификация СГС, сигнальное слово «Опасность»: H225 (98,53 %) — легковоспламеняющаяся жидкость
- Полный перечень предписаний по классификации СГС: P210, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301 + P330 + P331, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Основание классификации: агрегированные данные СГС от 68 компаний по 6 уведомлениям в реестр C и L ECHA; одно уведомление может относиться к нескольким компаниям
- Группа упаковки: II
- Категория опасности: 4.3
- Транспортные коды: ООН 3398, класс 4.3, группа упаковки II
- WGK Германия: 3
- Код класса опасности: 11-14-36/37/38-14/15
- Инструкции по технике безопасности: 16-26-36
- Метки: F, Xi
Хранение и обращение
Ключевые ограничения — вспышка при 10 °C и реакция с водой. Класс 4.3 означает, что при контакте с влагой выделяются легковоспламеняющиеся газы, поэтому предписание P422 требует хранения под инертным газом. Баллон держат закрытым, линии подачи осушают, тушение водой запрещено. Хранение вдали от источников зажигания, в прохладном вентилируемом помещении. Работы — в перчаточном боксе или на герметичной линии, с перчатками и защитой глаз.
Description
Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium, Zr[N(CH₃)(C₂H₅)]₄, in industry usage TEMAZ, is an organometallic zirconium(IV) amide. Light yellow liquid, volatile at low pressure, extremely sensitive to moisture. The main precursor for atomic layer and chemical vapor deposition of zirconium oxide and nitride films. Available in 50 ml Swagelok cylinders for CVD/ALD applications.
Basic Attributes
- CAS No: 175923-04-3
- Chemical formula: C12H32N4Zr
- Molecular Weight: 323.63
- Exact weight: 322.16700
- PSA: 12.96000
- XLogP3: 1.60960
- Appearance: light yellow liquid
- Density: 1.049 g/ml at 25 °C (literature data)
- Boiling point: 81 °C at 0.1 mm Hg. Art.
- Flash point: 50°F (10°C)
- Product qualifications: 99%, 99.999%; Packaged in 50 ml Swagelok CVD/ALD cylinders
Mechanism of operation in the deposition process
Zr–N bonds in amide precursors are reactive and are easily broken by water, ozone or oxygen plasma. In the atomic layer deposition cycle, the molecule is first chemisorbed on the surface of the substrate, giving up some of the ligands, then the oxidizer removes the remaining organic matter and completes the oxygen lattice. One cycle gives a fraction of a monolayer, the film thickness is determined by the number of cycles. The same precursor with a nitrogen-containing reagent produces zirconium nitride.
Scope of application
- Precursor of ALD and CVD films of zirconium dioxide ZrO₂ - a material with high dielectric constant (high-k)
- Formation of capacitor dielectrics in DRAM and gate dielectrics in logic chips
- Zirconium nitride deposition
- Barrier, wear-resistant and optical coatings based on zirconium layers
- Source of zirconium in organometallic synthesis
Safety Information
- Hazard Statements: H225 - Flammable liquid and vapour; H261 - on contact with water releases flammable gases; H315 - skin irritation; H319 - serious eye irritation; H335 - may cause respiratory irritation
- Precautions: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- GHS classification, signal word "Danger": H225 (98.53%) - flammable liquid
- Full list of prescriptions according to the GHS classification: P210, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P264, P271, P280, P301 + P330 + P331, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Basis of classification: aggregated GHS data from 68 companies for 6 notifications to the ECHA C and L register; one notification may apply to several companies
- Packing group: II
- Hazard category: 4.3
- Transport codes: UN 3398, class 4.3, packing group II
- WGK Germany: 3
- Hazard class code: 11-14-36/37/38-14/15
- Safety instructions: 16-26-36
- Tags: F, Xi
Storage and handling
Key limitations are flash at 10°C and reaction with water. Class 4.3 means that flammable gases are released on contact with moisture, so regulation P422 requires storage under inert gas. The cylinder is kept closed, the supply lines are drained, extinguishing with water is prohibited. Store away from sources of ignition, in a cool, ventilated area. Work - in a glove box or on a sealed line, with gloves and eye protection.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. ТЕТРАКИС(ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ЦИРКОНИЙ от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
